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超高纯氢气发生器运用先进且 **拥有的100% 钛金属质子交换膜(PEM) 技术, 将去离子水中的氢气分离并提纯,为CVD设备提 供超高纯的氢气气源。
独特的设计让运行更加稳定可靠,并保证更长的 使用寿命。发生器可24小时连续稳定地工作,开 机时自动检查内部泄漏,自动控制装置的运行参 数,保证**启动。
触摸屏LCD界面提供简单且清晰可见的运行信息, 让用户便捷地掌控和管理发生器。
产品特点 :
钯催化剂降低O2<0.01ppm,水分<1ppm,氢气纯度可达99.99999%(7N)
**冷双动态再生干燥器:去除水分和氧 气,无需监控、更换和购买干燥剂筒,无需 加热
通过USB进行远程PC监控和诊断分析,将设备与客户的PC软件连接(需要通过远程连接,才能有效地进行检查和维护)压力高达11bar(160psi)
显示水质状态:当水质变“**"时及时出现报警提示
联机产氢:可以通过软件控制实现多台发生 器并联产氢(集中供气),提供稳定的流量和压力、自动分配氢气,无需外接繁多的气体 控制机件,为您降低投入成本
对部分重要部件具有独立跟踪检测功能并及时提示,在确保正常运行的同时将零部件使 用时间*大化
型号及技术规格:
型号
流速
cc/min
纯度
H2干燥系统
压力
尺寸
(W x H x D)
应用
MF.H2.110
110
> 99.99999 %
(O2< 0.1 ppm,
露点< -75°C
)
自动再生干燥柱
(免维护)
11 bar
(160psi)
27 x 44 x 38 cm
GC载气以及检测器燃烧气;
GC-MS 载气
MF.H2.170
170
MF.H2.260
260
MF.H2.300
300
MF.H2.400
400
MF.H2.500
500
MF.H2.600
600
MF.H2.1000
1000
MF.H2.1200
1200
MF.H2.1350
1350
MD.H2.110
110
>99.9996 %
(O2<1 ppm,
露点< -55°C)
干燥剂筒
(手动更换)
7 bar
(101 psi)
27 x 44 x 38 cm
GC检测器燃烧气
MD.H2.170
170
MD.H2.260
260
MD.H2.300
300
MD.H2.400
400
MD.H2.500
500
MD.H2.600
600
MB.H2.110
110
>99.9996 %
(O2<1 ppm,
露点<-20°C)
特殊干燥膜
(免维护)
7 bar
(101psi)
27 x 44 x 38 cm
GC检测器燃烧气