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超声波气氛加热匀胶机是一款直径300mm、灵活的旋转匀胶设备,可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上,进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件,可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路,可将惰性气体通入腔体内,在匀胶时保护胶液不收空气中的气体影响。 此款匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆。可匀胶zui大圆晶尺寸为12英寸,转速可达3000rpm,加速度可达2000rpm;具有转速稳定,启动迅速,操作方便等优点,并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性,是一款性能优良的产品.
加热匀胶机产品特征:
1. 采用直流无刷电机,单片机控制
2. 高清晰触摸屏控制
3. 可进行单步多步匀胶操作,可存储五种程序,每种程序可设置五步操作
4. 防堵胶设计
5. 铝合金腔体,坚固耐用
6. 带有超声波,气氛,加热等多种辅助功能,为匀胶研究进行多种辅助
超声波气氛加热匀胶机产品参数:
产品名称 |
超声波辅助气氛匀胶机 |
圆晶尺寸 |
12英寸 |
旋转速度 |
30~3000rpm可调 |
旋转加速度 |
30~2000rpm/s可调 |
单次zui长匀胶时间 |
3000s |
匀胶腔体尺寸 |
φ390mm*90mm |
电压 |
220V 50Hz |
功率 |
1.5KW |
加热温度 |
0-100℃ |
质保时间 |
易损件除外,1年,终身技术支持 |
匀胶机真空吸盘 |
12寸 一个(标配);6寸 一个(定制) |
匀胶机定制纯机械卡盘 |
12英寸 一个(额外定制);6英寸 一个(额外定制) |
无油真空泵 |
型号:AP-2000V 功率:0.55kw zui低真空度:-700mmHg;-92Kpa zui大空气流量:200L/min;12M3/h 重量:10kg |
超声波系统
雾化头材质 |
钛合金 |
频率 |
50kHz |
功率 |
30W |
流量 |
0.55mL/s |
微粒直径 |
25um |
雾化头类型 |
锥型 |
雾化头重量 |
0.3kg |
超声波电源尺寸 |
315*312*135mm |
超声波电源重量 |
5kg |
注射泵
流量范围 |
0.001uL/min-43.349mL/min |
掉电记忆工能 |
保存设置参数,重新上电后,无需设置 |
适用进样器规格 |
10uL-1000uL |
适用注射器规格 |
1mL-60mL |
加热温度 |
0-100℃ |
线速度范围 |
5um/min-65um/min |
线速度调节分辨率 |
5um/min |
zui大行程 |
140mm |
行程分辨率 |
0.156um |
额定线性推力 |
>90N |
流量计
控制气体种类 |
2种 |
气体流速 |
16-160mL/min |