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超声波气氛加热匀胶机是一款直径300mm、灵活的旋转匀胶设备,可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上,进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件,可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路,可将惰性气体通入腔体内,在匀胶时保护胶液不收空气中的气体影响。 此款匀胶机适用于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆。可匀胶zui大圆晶尺寸为12英寸,转速可达3000rpm,加速度可达2000rpm;具有转速稳定,启动迅速,操作方便等优点,并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性,是一款性能优良的产品.
加热匀胶机产品特征:
1. 采用直流无刷电机,单片机控制
2. 高清晰触摸屏控制
3. 可进行单步多步匀胶操作,可存储五种程序,每种程序可设置五步操作
4. 防堵胶设计
5. 铝合金腔体,坚固耐用
6. 带有超声波,气氛,加热等多种辅助功能,为匀胶研究进行多种辅助
超声波气氛加热匀胶机产品参数:
产品名称
超声波辅助气氛匀胶机
产品型号
CY-SPC12T-SS-UL
匀胶机
圆晶尺寸
12英寸
旋转速度
30~3000rpm可调
旋转加速度
30~2000rpm/s可调
单次*长匀胶时间
3000s
匀胶腔体尺寸
φ390mm*90mm
电压
220V
50Hz
功率
1.5KW
加热温度
0-100℃
质保时间
易损件除外,1年,终身技术支持
匀胶机真空吸盘
12寸 一个(标配);6寸 一个(定制)
匀胶机定制纯机械卡盘
12英寸 一个(额外定制);6英寸
一个(额外定制)
无油真空泵
型号:AP-2000V
功率:0.55kw
*低真空度:-700mmHg;-92Kpa
*大空气流量:200L/min;12M3/h
重量:10kg
超声波系统
雾化头材质
钛合金
频率
50kHz
功率
30W
流量
0.55mL/s
微粒直径
25um
雾化头类型
锥型
雾化头重量
0.3kg
超声波电源尺寸
315*312*135mm
超声波电源重量
5kg
注射泵
流量范围
0.001uL/min-43.349mL/min
掉电记忆工能
保存设置参数,重新上电后,无需设置
适用进样器规格
10uL-1000uL
适用注射器规格
1mL-60mL
加热温度
0-100℃
线速度范围
5um/min-65um/min
线速度调节分辨率
5um/min
*大行程
140mm
行程分辨率
0.156um
额定线性推力
>90N
流量计
控制气体种类
2种
气体流速
16-160mL/min