全自动超声波气氛加热匀胶机 CY-SPC-HUA12 - 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：全自动超声波气氛加热匀胶机
产品型号：CY-SPC-HUA12
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

超声波气氛加热匀胶机是一款直径300mm、灵活的旋转匀胶设备，可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上，进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。加热匀胶机也可以单独进行旋涂操作

详情介绍：

超声波气氛加热匀胶机是一款直径300mm、灵活的旋转匀胶设备，可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上，进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件，可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路，可将惰性气体通入腔体内，在匀胶时保护胶液不收空气中的气体影响。此款匀胶机适用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆。可匀胶zui大圆晶尺寸为12英寸，转速可达3000rpm，加速度可达2000rpm；具有转速稳定，启动迅速，操作方便等优点，并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性，是一款性能优良的产品.

加热匀胶机产品特征：

1. 采用直流无刷电机，单片机控制

2. 高清晰触摸屏控制

3. 可进行单步多步匀胶操作，可存储五种程序，每种程序可设置五步操作

4. 防堵胶设计

5. 铝合金腔体，坚固耐用

6. 带有超声波，气氛，加热等多种辅助功能，为匀胶研究进行多种辅助

超声波气氛加热匀胶机产品参数：

产品名称	超声波辅助气氛匀胶机
圆晶尺寸	12英寸
旋转速度	30~3000rpm可调
旋转加速度	30~2000rpm/s可调
单次zui长匀胶时间	3000s
匀胶腔体尺寸	φ390mm*90mm
电压	220V 50Hz
功率	1.5KW
加热温度	0-100℃
质保时间	易损件除外，1年，终身技术支持
匀胶机真空吸盘	12寸一个（标配）；6寸一个（定制）
匀胶机定制纯机械卡盘	12英寸一个（额外定制）；6英寸一个（额外定制）
无油真空泵	型号：AP-2000V 功率：0.55kw zui低真空度：-700mmHg；-92Kpa zui大空气流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg

超声波系统

雾化头材质	钛合金
频率	50kHz
功率	30W
流量	0.55mL/s
微粒直径	25um
雾化头类型	锥型
雾化头重量	0.3kg
超声波电源尺寸	315312135mm
超声波电源重量	5kg

注射泵

流量范围	0.001uL/min-43.349mL/min
掉电记忆工能	保存设置参数，重新上电后，无需设置
适用进样器规格	10uL-1000uL
适用注射器规格	1mL-60mL
加热温度	0-100℃
线速度范围	5um/min-65um/min
线速度调节分辨率	5um/min
zui大行程	140mm
行程分辨率	0.156um
额定线性推力	＞90N

流量计

控制气体种类	2种
气体流速	16-160mL/min

产品名称：全自动超声波气氛加热匀胶机

加热匀胶机产品特征：

超声波气氛加热匀胶机产品参数：