四喷头超声波匀胶机旋涂仪 CY-300SS-4 - 郑州成越科学仪器有限公司

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简单介绍：

四喷头超声波匀胶机是一种面向未来的gaoduan微纳加工设备。它解决了传统匀胶技术在三维、异质集成和昂贵材料应用中的根本性瓶颈，是推动先进半导体、MEMS和下一代显示技术发展的关键工艺装备之一。

详情介绍：

四喷头超声波匀胶机是一款用于在基片上涂覆光刻胶或其他功能性液体的gaoduan、高精度的半导体及微纳加工设备。它代表了匀胶技术的zui新发展方向，尤其适用于复杂结构和非平面衬底的涂胶

传统匀胶机通常只有一个固定的滴胶头或静态喷头，通过中心滴胶或静态喷洒的方式将光刻胶覆盖在基片上，然后通过高速旋转产生的离心力使胶体铺展均匀。

四喷头超声波匀胶机则是一种新型的设计。它集成了以下核心部件：

四个独立的超声波压电喷头：这是其名称的由来。每个喷头都是一个独立的、精密的液体分配单元。

高精度机械臂：这四个喷头被安装在一个多自由度的机械臂上，可以jingque控制喷头在基片上方进行复杂的三维运动。

超声波雾化技术：利用高频超声波振动将液体“撕裂”成极其微小且均匀的雾状液滴（通常直径在微米级别），然后通过载气将其喷射出去。

协同控制系统：一个复杂的软件系统，可以同步控制每个喷头的开关、流量、以及机械臂的运动轨迹。

一．工作原理简述：

它不是简单地将胶水滴在中心，而是像一台“3D打印机”或“喷墨打印机”一样，通过程序控制四个喷头，按照预设的路径在基片表面进行扫描式喷涂。每个喷头可以独立工作，也可以协同作业，从而实现qian所未有的涂覆均匀性和灵活性。

二．核心优势：

与传统匀胶机相比，四喷头超声波匀胶机具有压倒性的优势：

1.极高的均匀性：

2.zuoyue的台阶覆盖性与保形性：

3.极高的材料利用率：

4.出色的兼容性与灵活性：

5.减少缺陷：

三．应用领域：

由于其独特的技术优势，四喷头超声波匀胶机主要应用于对涂胶工艺要求极高的前沿科技领域：

1.先进半导体制造：

2.MEMS（微机电系统）

3.化合物半导体与功率器件：

4.光子器件与光学元件：

5.显示技术：

6.科研与前沿探索：

四．技术参数：

产品名称	四喷头超声波匀胶机
产品型号	CY-300SS-4
匀胶机	圆晶尺寸	12英寸
	腔体材质	聚四氟
	加热温度	≤200℃（可以用一个小时）
	温控精度	+/- 0.1ºC
	加热方式	红外线加热元件
	涂层持续时间	0-60 秒（可调）
	涂层厚度	≤100nm（取决于您的加工工艺）
	旋转速度	30~6000rpm可调
	旋转加速度	30~2000rpm/s可调
	转速分辨率	1rpm
	单次zui长匀胶时间	3000s
	真空吸盘	一块 2.5x2.5cm，一块 10x10cm
	控温方式	AIP 智能温控
	操作方式	7 英寸高清 LCD 触摸屏
	控制面板	高清触摸屏 PLC 控制面板可设置喷雾、脱水程序和温控
	点胶机专用纯机械吸盘	12 英寸一块（需额外定制）；6 英寸一块（需额外定制）
	无油真空泵	型号：AP-2000V 功率：0.55kw zui低真空度：-700mmHg；-92Kpa zui大气流量：200L/min；12M3/h 重量：10kg
	外形尺寸	1200x1000x1050mm
超声波系统	数量	4个
	雾化头材质	钛合金
	频率	120kHz
	功率	130W
	流量	0.01-20ml/min
	微粒直径	20-25um
	喷涂宽度	2-20mm
	雾化头类型	锥型
注射泵	流量范围	50mL/min
	注射泵规格	10ml 精度+/- 0.01 mL
	注射泵规格	100mL 精度+/- 0.01 mL
	线速度范围	5um/min-65um/min
	线速度调节分辨率	5um/min
	zui大行程	140mm
	行程分辨率	0.156um
	额定线性推力	＞90N
流量计	控制气体种类	2种
流量计	气体流速	16-160mL/min

产品名称：四喷头超声波匀胶机旋涂仪