产品名称：净化旋涂仪带加热台

净化型匀胶机广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等，例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时，可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶； 是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台，可分别独立工作，也可两台同时工作

净化型匀胶机技术参数：

产品名称	净化旋涂仪带加热台
产品型号	CY-SPC4-SS-JH
匀胶机	电源电压	AC220V, 50Hz
	旋转速度	0~9999rpm, adjustable
	加速度	100~5000rpm/s
	速度分辨率	1rpm
	时间分辨率	1s
	单步时间	3000s
	基片尺寸	直径≤4英寸（100mm）
	腔体材质	亚克力
	操作方式	按键+液晶屏
	点胶方式	手动点胶，可选精密注射泵
	匀胶曲线	每条曲线5段，共可存储5条曲线
	抽气口	φ6mm快拧接口
	真空吸盘	直径10mm, 25mm, 55mm
	整体尺寸	210mm×250mm×180mm
加热板	加热板尺寸	150*150mm
	加热温度	RT~300C
	温度分辨率	0.1C
	控温精度	±1C
	温度均匀性	<±2C
	电源	AC220V, 50Hz
净化柜	尺寸	800*680*1700mm
	内部布局	内部左侧放4英寸亚克力腔体匀胶机，右侧放加热板
	净化等级	美国标准100%
	照明	内置LED照明灯
排气系统	真空泵	干式机械泵
	抽气速率	50L/min
	电源	AC220V, 60Hz