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8寸匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构,铝合金阳极氧化处理腔体,外观美观坚固。仪器采用先进的精密电机,zui高转速能达到8000转/秒;控制依靠按键和高亮液晶屏,除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本仪器在极大的减小了体积的前提下有效的保障了仪器性能和功能,十分适合实验室选购.
8寸匀胶机用途:
匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域
8寸匀胶机技术参数:
供电电源 |
AC220V, 50Hz |
样品尺寸 |
zui大直径 8" (~200mm) |
腔体材质 |
不锈钢 |
上盖(特殊要求) |
数量:2个(其中1个备用,只是盖子,不含其它)石英材质, 便于观察旋涂状态 |
转速 |
0~8000rpm 可调 |
加速度 |
100~5000rpm/s |
速度分辨率 |
1rpm |
操作模式 |
触屏控制 |
注射泵装置 |
6通道独立控制注射泵,但注射泵的控制软件和匀胶机兼容 适用注射器规格:1ml - 60ml zui大行程:90mm 线速度范围:7.94um/min-79.4mm/min 行程控制精度:误差≤±0.5%(行程≥zui大行程的30%) 额定线性推力:>90N |
滴液装置(特殊要求) |
l 自动和可编程滴液 l 六个独立注射器和滴液孔,无交叉污染 l 注射器的容量: 5ml到更高 l 其中2 条分配线需要jingque控制:可重复的分配量,每次zui小分配量:50ul±5ul,这两条线是用于甲苯溶液。 其他4条线的jingque控制要求稍低,zui小分配量:500ul±50ul,用于辛烷或乙腈溶液 l 管子和注射器需要对溶剂甲苯、辛烷、乙腈具有很强的耐受性 l 管子和注射器之间的所有连接都要连接良好,不能泄漏 |
控制软件(特殊要求) |
程序和存储配方由步骤组成。 每个步骤至少具有以下可配置参数:时间、旋转速度、斜率、6条分配线中的每条的分配量和6条分配线中的每条的分配速度。 配方允许循环步骤的子集.. 控制软件配方的典型示例: 步骤1:注液泵 1 分配 50ul 溶剂 步骤2:立刻,旋涂机开始以 3000 rpm 旋转 30 秒并停止 步骤3:注液泵 2 分配 200ul 溶剂 步骤4:30 秒后,旋涂机开始以 3000 rpm 的速度旋转 步骤5:10 秒后,注液泵 3 分配 1ml 溶剂 步骤6:40秒后,旋涂机停止 步骤7:重复10 次 步骤 1 至 6 |
吸盘 |
4片 (铝合金,直径 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm) |
真空泵 |
无油泵 |
泵抽速 |
50 L/min |
匀胶机尺寸 |
~290mm*365mm*300mm |
匀胶机净重 |
~20kg |