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8寸匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构,铝合金阳极氧化处理腔体,外观美观坚固。仪器采用先进的精密电机,zui高转速能达到8000转/秒;控制依靠按键和高亮液晶屏,除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本仪器在极大的减小了体积的前提下有效的保障了仪器性能和功能,十分适合实验室选购.
8寸匀胶机用途:
匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域
供电电源
AC220V, 50Hz
样品尺寸
zui大直径 8" (~200mm)
腔体材质
不锈钢
上盖(特殊要求)
数量:2个(其中1个备用,只是盖子,不含其它)
石英材质, 便于观察旋涂状态
转速
0~8000rpm 可调
加速度
100~5000rpm/s
速度分辨率
1rpm
操作模式
触屏控制
注射泵装置
6通道独立控制注射泵,但注射泵的控制软件和匀胶机兼容
适用注射器规格:1ml
- 60ml
zui大行程:90mm
线速度范围:7.94um/min-79.4mm/min
行程控制精度:误差≤±0.5%(行程≥zui大行程的30%)
额定线性推力:>90N
滴液装置(特殊要求)
l 自动和可编程滴液
l 六个独立注射器和滴液孔,无交叉污染
l 注射器的容量: 5ml到更高
l 其中2 条分配线需要jingque控制:可重复的分配量,每次zui小分配量:50ul±5ul,这两条线是用于甲苯溶液。 其他4条线的jingque控制要求稍低,zui小分配量:500ul±50ul,用于辛烷或乙腈溶液
l 管子和注射器需要对溶剂甲苯、辛烷、乙腈具有很强的耐受性
l 管子和注射器之间的所有连接都要连接良好,不能泄漏
控制软件(特殊要求)
程序和存储配方由步骤组成。 每个步骤至少具有以下可配置参数:时间、旋转速度、斜率、6条分配线中的每条的分配量和6条分配线中的每条的分配速度。
配方允许循环步骤的子集..
控制软件配方的典型示例:
步骤1:注液泵 1 分配 50ul 溶剂
步骤2:立刻,旋涂机开始以 3000
rpm 旋转 30 秒并停止
步骤3:注液泵 2 分配 200ul 溶剂
步骤4:30 秒后,旋涂机开始以 3000
rpm 的速度旋转
步骤5:10 秒后,注液泵 3 分配 1ml 溶剂
步骤6:40秒后,旋涂机停止
步骤7:重复10 次 步骤 1 至 6
吸盘
4片 (铝合金,直径 10mm, 25mm, 55mm 和 150mm)
真空泵
无油泵
泵抽速
50 L/min
匀胶机尺寸
~290mm*365mm*300mm
匀胶机净重
~20kg
8寸匀胶机技术参数: