旋转粉末磁控溅射镀膜仪 CY-MSH150-I-RF-Q - 郑州成越科学仪器有限公司

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简单介绍：

旋转粉末磁控溅射镀膜仪主要用于粉体材料、颗粒材料的包覆制备,用于改善粉体或颗粒的表面性能、分散性能、稳定性能，赋予其导电性、耐腐蚀性等新功能。

详情介绍：

该设备主要用于粉体材料、颗粒材料的包覆制备,用于改善粉体或颗粒的表面性能、分散性能、稳定性能，赋予其导电性、耐腐蚀性等新功能。

粉体包覆磁控镀膜仪是通过粉体在溅射腔室内的旋转，以达到粉体表面均勺包覆的效果。

腔室可旋转、倾斜，能快速出料。粉体包覆是指将一种或多种粉体颗粒投入到包覆设备中,通过物理或化学方法形成一层覆盖在颗粒表面的物质。粉体包覆的目的可以是改变颗粒表面

的性质、增加颗粒的稳定性、控制颗粒的释放速率等。

多功能粉体包覆机应用领域：

1.新能源材料：

用于锂电池正负极材料（如钴酸锂、硅碳负极）的表面包覆，提升导电性、循环稳定性及anquan性。燃料电池催化剂的表面改性，增强催化活性和抗腐蚀性。

2.电子陶瓷与半导体：

对陶瓷粉体（如Al₂O₃、SiC）进行金属或绝缘层包覆，改善介电性能或导热性。半导体粉体（如硅粉）的钝化处理，减少表面缺陷。

3.生物医疗：

yaowu粉末的缓释涂层（如聚合物或金属薄膜），控制yaowu释放速率。生物相容性涂层（如羟基磷灰石）用于骨修复材料。

4.航空航天与jungong：

高温合金粉体（如钛合金）的表面抗氧化涂层，提升耐高温性能。隐身材料的吸波涂层（如碳粉包覆磁性薄膜）。

5.化工与催化：

催化剂载体（如分子筛、活性炭）的金属纳米颗粒包覆，提高反应效率。防团聚涂层处理，改善粉体流动性。

多功能粉体包覆机产品特点：

1.高均匀,致密性；

2.广泛材料适应性；

3.可控性强；

4.环保与anquan性；

5.高效批量处理；

6.界面结合力强；

配备红外加热模块，可实现快速升温

多功能粉体包覆机技术参数：

产品名称	多功能粉体包覆机
产品型号	CY-MSH150-I-RF-Q
控制系统	显示模式	7英寸触控屏
磁控溅射	靶材尺寸	2英寸
	靶枪类型	标准磁场
	适合靶材	非磁性金属靶材
	溅射类型	直流溅射
	溅射真空	0.5Pa
	溅射速率	以铜为例：7nm/min
	膜层厚度	≦1微米
	膜均匀性	±3%
	样品粒度	zui佳尺寸范围：
	样品总量	≦500g
烘烤系统	烘烤温度	≦500℃任意可设置
	升温速率	≦50℃/S任意可设置
	控温精度	±1℃
	控温模式	可编程，程序控温
旋转升降	旋转速度	0-100RPM任意可设置
旋转升降	升降角度	0-60°任意可设置
等离子体	射频功率	150W(另有：300W,500W,600W,1000W,1500W多种规格可选购）
等离子体	功能效用	粉体包覆前，可先对粉体进行表面刻蚀，改性，增强包覆层附着力。
供气系统	气体种类	可通：氩气、氮气、氧气等多种气体
供气系统	气体控制	采用质量流量控制器对气体进行流量控制、气体计量。
真空系统	前级泵	通常为双极旋片泵，客户可根据需要选购其它类型前级泵。
	分子泵	通常为国产分子泵，客户可根据需要选购其它类型分子泵。
	真空计	复合真空计，量程为：10^-5Pa～10⁵Pa
水冷机组	zui大流量10L-16L，zui大扬程10-25M
供电电源	AC220V/50Hz
设备尺寸	18006201050
包装尺寸	19007201150
包装重量	200kg
随机配件	1、说明书1本
	2、随机配件1套
	3、配件清单1份

产品名称：旋转粉末磁控溅射镀膜仪