产品分类
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- 注射泵
- 气体分析仪
- 电池制备
- 超硬刀具焊接炉
- 环境模拟试验设备
- 实验室产品配件
- 实验室镀膜耗材
- 其他产品
产品详情
简单介绍：
该设备主要⽤于粉体材料、颗粒材料的包覆制备（磁控溅射镀膜、CVD、PECVD镀膜）及热处理等，⽤于改善粉体或颗粒的表⾯性能、分散性能、稳定性能，赋予其导电性、耐腐蚀性等新功能。
详情介绍：
粉体包覆磁控镀膜仪是通过粉体在溅射腔室内的旋转，以达到粉体表⾯均匀包覆的效果。
腔室可旋转、倾斜，能快速出料。粉体包覆是指将⼀种或多种粉体颗粒投⼊到包覆设备中，通过物理或化学⽅法形成⼀层覆盖在颗粒表⾯的物质。粉体包覆的⽬的可以是改变颗粒表⾯的性质、增加颗粒的稳定性、控制颗粒的释放速率等。
设备特点
可旋转高纯石英反应腔，内带石英挡板，使样品在不停的翻滚过程中，受热更充分、镀膜更均匀。
配备红外加热模块，可实现快速升温
设备参数
| 供电电压 | AC220V，50Hz | |
| 整机功率 | 3KW | |
| 系统真空 | ≦5×10-4Pa | |
| 磁控靶枪 | 靶材尺寸 | 直径Φ50.8mm，厚度≦3mm |
| 冷却模式 | 循环水冷 | |
| 水流大小 | 不小于10L/Min | |
| 数量 | 1 | |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | 直径φ100Xφ150Xφ100mm |
| 腔体材质 | 高纯石英 | |
| 旋转速度 | 0-20rpm | |
| 倾斜角度 | 0-15° | |
| 气体控制 | 1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM | |
| 真空系统 | 配分子泵系统1套，气体抽速600L/S | |
| 溅射电源 | RF电源,功率300W*1 | |
| 控制系统 | CYKY自研专业级控制系统 | |
| 设备尺寸 | 1800*630*1100 | |
| 设备重量 | 200kg | |
