产品名称：准分子激光器

准分子激光器是一种特殊类型的气体激光器，其名称源于工作介质——“受激准分子”，即处于激发态的短暂存在的稀有气体卤化物（如ArF、KrF、XeCl）。它产生高能量的脉冲激光，典型输出波长位于紫外波段。

其核心工作原理是：通过快速脉冲放电，使惰性气体与卤素气体的混合物形成激发态准分子。当这些准分子从激发态跃迁回不稳定的基态并迅速离解时，便释放出紫外光子，经谐振腔放大后形成激光。

凭借紫外光的光子能量高、波长短的特性，准分子激光器在工业上主要应用于精密加工，如半导体光刻、OLED显示屏退火、光纤布拉格光栅刻写等。在医疗领域，它则是近视矫正手术（如LASIK手术）中用于**切削角膜的关键设备。

准分子激光器以其独特的紫外、脉冲、高能量特性，成为了**制造和**医疗中不可或缺的工具

技术参数:

	适用于脉冲激光沉积镀膜技术的准分子激光器一台，使用KrF作为工作气体。
激光波长	248±0.5nm；
脉冲能量	≥ 800mJ；
能量稳定性	≤1 %；
光束发散角	≤3×1mrad；
*大重复频率	≥ 20Hz；
稳定功率	≥ 14W
脉冲宽度（FWHM）	：25±5ns
光斑尺寸	(24±4)×(10±2) mm
其他配置	配光学平台一套，长度不低于激光器长度+30 cm，宽度不低于激光器宽度+60 cm，高度根据激光器出光口高度调整，激光器出光口中心距地面高度120 cm。 激光器工作气体采用6000升预混气一瓶、5000升高纯氦气一瓶； 配减压阀及不锈钢或无氧铜管路； 配分体式冷水机一台，制冷功率≥ 1kW； 配反射镜（含光具座）2套。 聚焦透镜（含光具座）1套。