产品详情
  • 产品名称:准分子激光器

  • 产品型号:CY-50
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
详情介绍:

准分子激光器是一种特殊类型的气体激光器,其名称源于工作介质——“受激准分子”,即处于激发态的短暂存在的稀有气体卤化物(如ArF、KrF、XeCl)。它产生高能量的脉冲激光,典型输出波长位于紫外波段。

其核心工作原理是:通过快速脉冲放电,使惰性气体与卤素气体的混合物形成激发态准分子。当这些准分子从激发态跃迁回不稳定的基态并迅速离解时,便释放出紫外光子,经谐振腔放大后形成激光。

凭借紫外光的光子能量高、波长短的特性,准分子激光器在工业上主要应用于精密加工,如半导体光刻、OLED显示屏退火、光纤布拉格光栅刻写等。在医疗领域,它则是近视矫正手术(如LASIK手术)中用于**切削角膜的关键设备。

准分子激光器以其独特的紫外、脉冲、高能量特性,成为了**制造和**医疗中不可或缺的工具

技术参数:


适用于脉冲激光沉积镀膜技术的准分子激光器一台,使用KrF作为工作气体。


激光波长

248±0.5nm;

脉冲能量

≥ 800mJ;

能量稳定性

≤1 %;

光束发散角

≤3×1mrad;

*大重复频率

≥ 20Hz;


稳定功率

≥ 14W

脉冲宽度(FWHM)

:25±5ns

光斑尺寸

(24±4)×(10±2) mm

其他配置

配光学平台一套,长度不低于激光器长度+30 cm,宽度不低于激光器宽度+60 cm,高度根据激光器出光口高度调整,激光器出光口中心距地面高度120 cm。

激光器工作气体采用6000升预混气一瓶、5000升高纯氦气一瓶;

配减压阀及不锈钢或无氧铜管路;

配分体式冷水机一台,制冷功率≥ 1kW;

配反射镜(含光具座)2套。

聚焦透镜(含光具座)1套。


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