1200℃三通道CVD系统 CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q

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简单介绍：

该套CVD系统主要由：材料加热、真空获取、气体测量和等离子发生器四大部分构成。可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。该CVD系统是材料制备过程中的理想之选。

详情介绍：

一体式CVD系统设计紧凑，使用方便。特别是丰富的图文界面，即使您是**操作，该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作，您根本无需专业学习，为您节省大量的科研时间，真正做到事倍功半！

产品特点：

1、丰富的图文信息：全尺寸液晶图文界面

2、系统高度集成：各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出

3、可使实验步骤程序化、自动化

技术参数：

项目	明细
供电电压	AC220V，50Hz
MAX功率	5KW
加热温区	220mm+440mm+220mm
工作温度	1100℃ （1200℃＜1h）
控温精度	±1℃
升温速率	建议≤10℃/min
控温方式	AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条三温区独立控制，带有过热和断偶保护
炉管材质	高纯石英
炉管尺寸	φ60mm O.D×1300mm L
气体通道	三通道质量流量计
气体量程	A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系统真空	5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵）

产品名称：1200℃三通道CVD系统