产品详情
  • 产品名称:1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统

  • 产品型号:CY-O1200-50IT-3Z-HV
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统由单温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵租组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温,可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制路管内的气氛环境。同时1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。
详情介绍:

1200℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统所配有的三路质量流量计,精度高可靠性强,可以准确混合1~3路气体,操作面板采用数字显示,直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。

本系统还配有精密分子泵组,可以达到1.0E-3pa级别的真空度,较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

技术参数:

产品型号

CY-O1200-50IT

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm(可选配60mm80mm100mm

炉管长度

800mm

炉膛长度

440mm

加热区长

400mm

恒温区长

200mm

工作温度

01100

控温精度

±1

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

产品型号

CY-3Z

气体通道

3通道

测量部件

气体质量流量计

测量量程

A通道:0100SCCM    H2

备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

测量精度

±1.0%F.S

管道耐压

3MPa

工作压差

50300KPa

连接管道

304不锈钢

控制阀门

304不锈钢针阀

接口规格

进气口和出气口为1/4英寸卡套接头

供电电源

AC:220V 50/60Hz

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前极泵

旋片泵

抽气速率

分子泵:600L/S

综合抽气性能:30分钟真空度可达:6.0E-5Pa

旋片泵:1.1L/S

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计:电阻规+电离规

极限真空

8.0E-7Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz


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