产品详情
  • 产品名称:全自动CVD滑轨炉

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
全自动CVD滑轨炉系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;四路质子流量计能够准确控制系统的供气;全自动CVD滑轨炉真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
详情介绍:

全自动CVD滑轨炉设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。

适用于高校、科研院所、工矿企业做石墨烯的生长、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火,尤其适合需要快速升降温的CVD试验。


全自动CVD滑轨炉技术参数:


项目

明细

供电电压

AC220V50Hz

整机功率

5KW

工作温度

1100℃

加热速率

建议10/min

炉管尺寸

O.D.50mm-220mm-220mm(加热区)-1200mm管长

控温精度

0.1℃

温区

双温区

混气系统

4路质子流量计:100sccm1个;200sccm1个;500sccm2

真空泵

双极旋片真空泵

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