产品详情
  • 产品名称:1200℃三温区三通道混气CVD系统

  • 产品型号:CY-T1200-TC
  • 产品厂商:成越科仪
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
1200℃三温区三通道混气CVD系统由三温区管式炉和三路浮子流量计组成。管式炉三个温区分别由精密控温仪表独立控温,通过调节各个温区的温度,该管式炉可以在加热区内形成三段温度梯度或是形成较长的恒温区域。1200℃三温区三通道混气CVD系统每个温区均可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制路管内的气氛环境。
详情介绍:

1200℃三温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计,可以较为准确的配制出实验所需的混合气体;另有一压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

1200℃三温区三通道混气CVD系统技术参数:

项目

明细

供电电压

AC220V50Hz

MAX功率

5KW

加热温区

220mm+440mm+220mm

工作温度

1100℃ 1200℃1h

控温精度

±1℃

升温速率

建议≤10℃/min

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

三温区独立控制,带有过热和断偶保护

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ60mm O.D×1300mm L

气体通道

三通道质量流量计

气体量程

A100sccm   B300sccm  C500sccm

系统真空

5~10Pa(如需更高真空度可以选配其他的泵)

免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,会造成所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,本公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

豫公网安备 41019702002438号