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产品详情
简单介绍:
本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。
详情介绍:
本CVD系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD系统可抽真空、通气氛用于各种CVD实验。
主要技术参数:
1、真空管式炉
工作电压:AC220/AC110V
工作频率:50Hz/60hz
工作温度:25℃~1100℃
测量精度:0.1℃
控温精度:±1℃
加热速率:建议10℃/min
控温模式:可编程智能PID
曲线段数:30段
预存曲线:100条
炉膛长度:440mm
恒温区长:200mm
数据接口:USB
2、混气系统
测量设备:质量流量控制器
测量量程:500SCCM
气体通道:两通道
连接管道:304不锈钢管
接口模式:6.35卡套接头
气体缓冲:不锈钢缓冲