产品名称：1200℃单温区三通道混气CVD系统

1200℃单温区三通道混气CVD系统采用全彩高清触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

1200℃单温区三通道混气CVD系统技术参数：

项目	明细
供电电压	AC220V，50Hz
MAX功率	5KW
加热温区	455mm
工作温度	1100℃ （1200℃＜1h）
控温精度	±1℃
升温速率	建议≤10℃/min
控温方式	AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区独立控制，带有过热和断偶保护
炉管材质	高纯刚玉
炉管尺寸	φ60mm O.D×1300mm L
气体通道	三通道质量流量计
气体量程	A：100sccm   B：300sccm  C：500sccm
系统真空	5~10Pa（如需更高真空度可以选配其他的泵）

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