产品详情
  • 产品名称:等离子增强型CVD系统

  • 产品型号:CY-O1200-50IS-PECVD
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
CY-O1200-50IS-PECVD是一款等离子增强型CVD系统。此系统由150W射频电源、单温区管式炉、3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。
详情介绍:

○ 产品介绍


CY-O1200-50IS-PECVD是一款等离子增强CVD系统。此系统由150W射频电源、温区管式炉3通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵组成。


○ 技术参数

结构特点

 150W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度

   3通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控 

工作电源

  AC208-220V,50/60Hz

 总功率:4KW

温区管式

  zui高温度:1100ºC(< 2h) 连续工作温度:1000℃

  PID温度控制器以及30段可编程温控系统 

 输入功率:220V,单相,功率:1.5KW

 加热区长度:200mm温区:100mm 

 炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管 

等离子射频电源

 输出功率:0-150W可调(稳定性:±1%

 射频频率:13.56MHz(稳定性:±0.005%)

 zui大反射功率:150W

  匹配:自动匹配

 射频输出端口:50ΩN

 噪音:<50dB

 冷却: 空气冷却

 电源: 220VAC, 50/60Hz 

石英管

 高纯石英管

 尺寸:φ50mm*1200mm L 

密封法兰  

 一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头)

真空泵(该部分为选配,单独计费)

 双级真空泵 

 KF16卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵 

3通道质子流量计控制系统(该部分为选配,单独计费)

 4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02% 

 流量范围: 

一路: 0~100 SCCM 

二路: 0~200 SCCM 

三路: 1~200 SCCM 

 电压:220V AC 50/60Hz

 气体进出口配件:直径6.35mm不锈钢管

 不锈钢针阀用于手动控制气体进出

尺寸和重量

  1400mm L x 600mm W x 1240mm H

  净重:90kg  

质保期

 一年质保期,终生维护(石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外)

质量认证

  CE认证 

使用注意事项

 炉管内气压不可高于0.02MPa 

 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀 

 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 

 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

  石英管的长时间使用温度<1100℃

  对于样品加热的实验,使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生 


○ 免责声明


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