产品名称：卷对卷PECVD石墨烯制备设备柔性透明电极连续生产

卷对卷式PECVD是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、1200°C三温区管式炉、 真空机组3部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。

卷对卷式PECVD应用范围：

计算机和智能手机屏幕，超轻、柔性的太阳能电池，以及新型的发光设备和其他薄膜电子产品领域。

卷对卷PECVD技术参数：

性能指标和基本配置
产品名称	卷对卷式PECVD
产品型号	CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
1000W等离子源	● 输出功率：50-1000W*大可调±1% ● RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005% ● 噪声：≤55DB ● 冷却：风冷 ● 输入功率：1KW  AC 220V
三路质子流量计控制系统	● 电压：AC220V/50Hz ● 功率：23W ● PLC触摸屏控制 ● 混气罐尺寸：φ80*120mm ● 工作温度：5~45℃ ● *大压力: 3x106 Pa ● 精度: ±1.5% FS ● 线性: ±（0.5-1.5）%F.S. ● 重复精度: ±0.2%F.S. ● 流量范围: ● 一路: 1~50 SCCM （甲烷标定） ● 二路: 1~200 SCCM （氢气标定） ● 三路: 1~200 SCCM （氩气标定） 气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择
真空测量单元	● 型号：PCG-800 ● 显示范围：3.8E-5 to 1125 Torr 精度： ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 ● 100 … 950 mbar % of reading ±5 ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
低真空机组（标配）	● 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器（PE材质）、电阻真空计以及连接管道接头等组成 ● 真空泵抽气速率≥4.4L/s ● 极限真空度10-1Pa ● 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa
卷对卷铜箔收放密封装置	● 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料，铜箔的移动速度为1-400mm/min可调； ● 配置一卷测试铜箔 ● 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内，保证铜箔可在密封生长条件下进行运动，实现大规模制备 。 ● 收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却。
产品尺寸	大约2400*800*1250mm
产品重量	大约720kg
质量认证	电器元件可选择通过CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。