产品详情
  • 产品名称:1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统

  • 产品型号:CY- O1200-50IIT-3Z-LV
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统由双温区管式炉、三路质量流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉两个温区分别由精密控温仪表独立控温,通过调节各个温区的温度,该管式炉可以在加热区内形成两段温度梯度或是形成较长的恒温区域。每个温区均可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制炉管内的气氛环境。
详情介绍:

1200双温区3路质量供气低真空CVD系统同时管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。

系统所配有的三路质量流量计,精度高可靠性强,可以准确混合1~3路气体,操作面板采用数字显示,直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

技术参数:

产品型号

CY- O1200-50IIT

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm(可选配60mm80mm100mm

炉管长度

1000mm

炉膛长度

440mm

加热区长

200mm+200mm

工作温度

01100

控温精度

±1

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

可抽真空

4.4×10E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

产品型号

CY-3Z

气体通道

3通道

测量部件

气体质量流量计

测量量程

A通道:0100SCCM    H2

备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

测量精度

±1.0%F.S

管道耐压

3MPa

工作压差

50300KPa

连接管道

304不锈钢

控制阀门

304不锈钢针阀

接口规格

进气口和出气口为1/4英寸卡套接头

供电电源

AC:220V 50/60Hz

机械泵

VRD-4

抽气速率

4L/S   

排气接口

KF16

真空测量

电阻规

极限真空

1×10E-1Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

抽气接口

KF16

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