产品详情
  • 产品名称:1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统

  • 产品型号:CY-O1500-60IT-3F-HV
  • 产品厂商:成越科仪
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统由1500℃单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温,可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制炉管内的气氛环境。
详情介绍:

1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。炉管采用高纯氧化铝制成,炉体采用一体式设计,独特的设计能够保证系统在1500℃运行稳定安全,加热元件采用高品质硅碳棒,能够达到1500℃高温,若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。

系统所配有的三路浮子流量计,可以混合1~3路气体,较为准确的配制出实验所需的混合气体;另有一压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。本系统还配有精密分子泵组,可以达到10E-3pa级别的真空度,较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

技术参数:

产品型号

CY-O1500-60IT

炉管材质

高纯氧化铝

炉管直径

60mm(可选配50mm80mm100mm

炉管长度

1000mm

炉膛长度

440mm

加热区长

300mm

恒温区长

150mm

工作温度

1450

控温精度

±1

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

可抽真空

4.4×10E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

产品型号

CY-3F

气体通道

3通道

测量部件

气体浮子流量计

测量量程

A通道:0100ml/min    H2

备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。

B通道:16160ml/min    N2

C通道:25250ml/min    Ar

测量精度

±2.0%

管道耐压

3MPa

工作压差

50300KPa

连接管道

304不锈钢

控制阀门

304不锈钢针阀

接口规格

进气口和出气口为1/4英寸卡套接头

产品型号

CY-GZK103-A

分子泵

FJ-150

前极泵

VRD-4

抽气速率

分子泵:150L/S

综合抽气性能:30分钟真空度可达:6×10E-5Pa

旋片泵:4L/S

抽气接口

KF40

排气接口

KF16

真空测量

复合真空计:电阻规+电离规

极限真空

8×10E-7Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz


免责声明:本站产品介绍内容
(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,会造成所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,本公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

豫公网安备 41019702002438号