产品名称：1200℃高真空迷你CVD设备

1200℃高真空迷你CVD设备该组CVD设备为小型化CVD系统，核心是一款迷你管式炉，采用电阻丝加热，设备*高温度可达1200℃。仪器还包含一台三路浮子流量计，一台分子泵组，分别构成了CVD的进气和出气部分。

特点

1. 炉管右侧有数显真空计，用以控制炉管内部的真空度和气氛环境。

2. 系统采用PID智能控温，控温精度能达到±1℃。

3. 管式炉在操作上采用温控表操作，可预设控温曲线，

4. 一键启停，便于使用，能够简化实验操作进而节约试验时间。

5. 高真空分子泵组可以有效提高本低真空度，提高反应产物的质量。 

技术参数：

1200℃迷你管式炉	供电电压	AC220V,50Hz
	功率	2KW max
	加热温区	单温区200mm
	恒温区长	100mm
	加热元件	耐热合金丝
	热电偶	K型
	工作温度	≤1150℃
	升温速率	建议≤10℃/min
	控温精度	±1℃
	控温方式	AI-PID 30段工艺曲线，带有过热和断偶保护
	炉管材质	高纯石英
	炉管尺寸	φ50mm O.D x 450mm L
	真空泵	机械泵  抽速1.1L/s
	极限真空	5Pa

三路浮子流量计	阀门类型	不锈钢针阀
	气路数量	三路
	承压范围	0.05~0.3MPa
	量程	160 SCCM (Air)
	混气罐容积	750mL
	气路材料	304不锈钢
	管道接口	6.35mm卡套接头