产品详情
  • 产品名称:迷你石墨烯CVD设备

  • 产品型号:
  • 产品厂商:成越科仪
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
迷你石墨烯CVD设备专为石墨烯生产设计配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。迷你石墨烯CVD设备同时设备配有可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀,一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。
详情介绍:

迷你石墨烯CVD设备
本套CVD系统专为石墨烯生产设计,采用1200℃迷你管式炉,配有高精度质量流量计以及薄膜真空规。相比于常规的皮拉尼电阻规,薄膜规的读数**,不受气体种类影响,十分适合真空镀膜工艺。同时设备配有可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀,一旦出现泄漏电磁阀即可自行关闭保证**。
该套设备功能**占地面积较小,十分适合实验室规模的CVD制备。

特点

1.高精度质量流量计以及薄膜真空规

2.可燃气体检测装置,联动出气口电磁阀

3.体积小巧

4.专为石墨烯生产设计

技术参数:

1200℃迷你管式炉 
供电电压 AC220V,50Hz
功率 2KW max
加热温区 单温区200mm
恒温区长 100mm
加热元件 耐热合金丝
热电偶 K型
工作温度
≤1150℃
升温速率
建议≤10℃/min
控温精度
±1℃
控温方式
AI-PID 30段工艺曲线,带有过热和断偶保护
炉管材质
高纯石英
炉管尺寸
φ50mm O.D x 450mm L
真空泵
机械泵  抽速1.1L/s
极限真空
5Pa

三路浮子流量计
阀门类型
不锈钢针阀
气路数量
三路
承压范围
0.05~0.3MPa
量程
Ar 0~500sccm
H2 0~200sccm
CH4 0~10sccm
流量控制范围
±1.5%
混气罐容积
750mL
气路材料
304不锈钢
管道接口
6.35mm卡套接头
供电电源
AC220V 50Hz


豫公网安备 41019702002438号