等离子体增强型化学气相沉积PECVD CY-PECVD-450 - 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：等离子体增强型化学气相沉积PECVD
产品型号：CY-PECVD-450
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

化学气相沉积采用等离子体增强型化学气相沉积技术，能够利用高能量等离子体促进反应过程，有效提升反应速度，降低反应温度。适用于在光学玻璃、硅、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂，适用于制备非晶硅和微晶硅薄膜太阳电池器件，可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备

详情介绍：

PECVD技术参数：

供电电源		AC220V 50Hz (欧标)
射频电源	信号频率	13.56MHz
	功率输出范围	0~500W
	*大反射功率	100W
	反射功率 (在*大功率时)	<5W
	功率稳定性	±0.1%
工作腔体	加热温度	RT-1000℃
	温控精度	±1℃
	样品台尺寸	Φ200mm
	样品台转速	1-20rpm 可调
	喷头尺寸	Φ90mm
	距离	喷头与样品之间的距离40-100mm连续可调
	沉积工作真空	0. 133- 133Pa （可根据工艺调整）
	法兰	上法兰可由电机升降，基材易更换，并有可视窗口
	腔体	不锈钢材质, Φ500mm * 500mm
	观察窗	Φ100mm, 带挡板
供气系统	通道数	6
	测量单位	质量流量计
	测量范围	A 通道: 0～200SCCM for H₂
		B 通道: 0～200SCCM for CH₄
		C 通道: 0～200SCCM for C₂H₄
		D通道: 0～500SCCM for N₂
		E通道: 0～500SCCM for NH₃
		F通道: 0～500SCCM for Ar
	测量精度	±1.5%F.S
	工作压差	-0.15Mpa~0.15Mpa
	连接管材质	304 不锈钢
	气路	304 不锈钢针阀
	进气和出气接口规格	1/4" 卡套接头
真空系统	前级泵抽速	4.7L/s
	分子泵抽速	1200L/s
	真空测量	复合真空计, 范围10^-5Pa ~ 10⁵Pa
	真空度	5.0*10^-3Pa
水冷机	冷却水温度	≦37℃
	水流速	10L/min
	功率	0.1KW
	冷却功率	50W/℃
空压机	OTS-550

产品名称：等离子体增强型化学气相沉积PECVD