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产品特点
1：此款镀膜仪配置有两个靶枪：一个靶枪配套的是射频电源，用于非导电靶材的溅射镀膜；一个靶枪配套的是直流电源，用于导电材料的溅射镀膜
2：该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜，应用非常广泛。
3：该镀膜仪体积较小，且配备有触摸屏控制面板，操作方便。
产品参数:
项目
明细
产品型号
CY-MSH500- II-DCRF-SS
供电电压
AC220V，50Hz
整机功率
4KW
系统真空
≦5×10-4Pa
样品台
外形尺寸
φ140mm
加热温度
≦500℃
控温精度
±1℃
可调转速
≦20rpm
磁控靶枪
靶材尺寸
直径Φ50.8mm，厚度≦3mm
冷却模式
循环水冷
水流大小
不小于10L/Min
真空腔体
腔体尺寸
直径φ500mm，高度560mm
腔体材质
SUU304不锈钢
观察窗口
直径φ100mm
开启方式
顶开式
气体控制
1路质量流量计用于控制Ar流量，量程为:200SCCM
真空系统
配分子泵系统1套，气体抽速600L/S
膜厚测量
可选配石英晶体膜厚仪，分辨率0.10 Å
溅射电源
直流电源500W,射频电源500W
控制系统
CYKY自研专业级控制系统
设备尺寸
600mm
× 650mm × 1280mm
设备重量
350kg
