产品名称：5Kg粉体磁控溅射镀膜仪

一、设备简介

5Kg 粉体磁控溅射镀膜仪是大容量粉体颗粒专用真空 PVD 包覆设备，专为单次装载 5kg 粉末物料设计，依托磁控溅射物**相沉积原理，配合腔体旋转、粉体翻滚振动机构，让粉体颗粒持续翻动、无死角滚动，在每一颗粉体表面均匀沉积金属、合金、陶瓷、氧化物纳米薄膜；全程高真空密闭环境，薄膜致密、厚度可控、包覆均匀无团聚，适配科研小批量中试、新材料改性制备场景，由郑州成越科学仪器研发生产，兼顾实验室研发与小批量试制需求。

二、主要用途

粉体颗粒表面包覆改性：微米 / 纳米粉末外包覆导电层、抗氧化层、防腐层、绝缘层、催化层、**层；

解决粉体痛点：粉体易氧化、团聚、导电性差、分散性不佳、界面相容性弱等问题；

可制备单层膜、多层复合膜、合金共溅射薄膜；

粉体样品 SEM 电镜导电镀金、镀银制样；

新材料配方工艺摸索、小批量中试包覆生产。

三、应用领域

新能源材料：锂电池正负极粉体、硅碳负极、石墨粉体包覆金属 / 碳基薄膜；固态电解质粉体改性、超级电容器电极粉体制备；

催化材料：催化剂粉末表面贵金属（Pt、Ag、Au）包覆，提升催化活性与稳定性；

粉末冶金 / 金属粉体：铁粉、铝粉、合金粉抗氧化镀层，提升粉体存储与烧结性能；

生物医药：药用粉体、羟基磷灰石粉体镀银**涂层，生物陶瓷粉体表面改性；

光电与传感器：荧光粉、发光粉体、光学微球表面光学薄膜包覆；气敏传感粉体敏感层制备；

复合材料填料：二氧化硅、氧化铝、碳化硅无机填料金属化包覆，提升树脂、橡胶界面结合力；

科研理化测试：各类粉末扫描电镜（SEM）导电镀膜制样。

四、标准技术参数： 

产品名称	5Kg 粉体磁控溅射镀膜仪
产品型号	CY-MSH325-5KG
粉体承载腔体系统	腔体尺寸	Φ325mm×H420mm，304 不锈钢一体成型
	腔体旋转转速	0~20rpm 变频连续可调
	控温精度	±1℃
	结构配置	内置搅拌打散条，防止粉体堆积包覆不均
	观测部件	石英可视观察窗
多弧等离子靶体配置	标配靶头数量	单靶
	靶头规格	圆柱形靶材：镍靶材，φ100X40
	适配靶材	各类金属、合金、陶瓷、氧化物靶材
	标配电源	1台多弧电源
	可选电源	直流电源，溅射电源
	冷却方式	风冷
真空机组系统	极限真空度	≤5×10⁻⁴ Pa
	多弧工作气压	DC：0.1~0.5Pa；RF：
	抽气组合	650L/s 涡轮分子泵 + 无油前级真空泵
	整机静态漏率	＜1×10⁻⁸ Pa·m³/s
气路供气系统	基础工作气体	高纯氩气
	可选反应气体	氧气、氮气
	气体控制	高精度质量流量控制器，量程 0~500sccm
整机测控系统	操控方式	PLC+10 英寸触摸屏全自动程控
	工艺存储	可存储上30套镀膜工艺配方
	选配配件	石英晶体膜厚仪，膜厚分辨率 0.1Å
	**防护	缺水、过压、过流、真空联锁全套报警保护
整机基础参数	输入供电	AC380V/50Hz
	整机额定功率	5KW
	设备外形尺寸	1100mm×920mm×1300mm
	整机净重	580Kg