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  • 产品名称:非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY-NC
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一款紧凑型2英寸单头射频等离子磁控溅射系统,涂有非金属,主要是氧化物薄膜。非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪将所有元件集成到一层立式机柜中,包括射频电源、石英真空室、真空泵、再循环冷水机组和薄膜厚度监控器等。
详情介绍:

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪产品用途

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪是一种优良且具有成本效益的涂膜机,用于研发非导电材料薄膜

非导电薄膜等离子磁控溅射镀膜仪技术规格:

输入功率

  • 220 VAC, 50/60Hz, 单相
  • 800 W  (包括泵)
  • 如果电压为110 VAC, 则需要1000 W 变压器

电源

一个13.5 MHz, 300 W 具有自动匹配功能的射频发生器内置于机柜中并连接到 2" 溅射头

磁控溅射头

  • 包括一个带有水冷套的2"磁控溅射头,并通过快速夹具插入石英腔
  • 一个挡板安装在法兰上(手动操作)
  • 冷却磁控溅射头需要一台16/分钟的数控再循环冷水机组(不包括)

溅射靶

  • 靶尺寸要求: 2" 直径×1/4"厚度Max
  • 包括一个SiO2 靶用于演示测试

真空室

  • 真空室:外径160 mm×内径150 mm×250 mm高度。由高纯度石英制成
  • 密封法兰:直径165毫米。由铝制成,带有高温硅胶O形圈
  • 包括不锈钢网罩,用于100%屏蔽来自腔室的RF辐射
  • 真空度:1.0E-2托,配备双级机械泵,1.0E-5托,带可选涡轮泵

样品架

  • 样品架可旋转且可加热,由带有不锈钢盖的陶瓷加热器制成。
  • 样品架尺寸:50毫米直径。zui大2英寸晶圆
  • 旋转速度可调:1 - 10 rpm,均匀涂层
  • 通过数字温度控制器,支架温度可在RT500 Max范围内调节,精度为+/- 1.0℃。

真空泵站

  • 内置KF25真空端口,用于连接真空泵。
  • 需要一个带KF25适配器的真空泵,但不包括。
  • 真空度:双级机械泵1.0E-2托,涡轮泵1.0E-5托。

整体尺寸

650 mm L×650 mm W×1630 mm H             

净重

70 kg

售后服务

货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。

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