往复样品台单靶磁控镀膜仪 - 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：往复样品台单靶磁控镀膜仪
产品型号：
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

桌面型单靶磁控镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备，具有小型化、标准化的特点。磁控靶有1英寸、2英寸可以选择，客户可以根据所镀基板的大小自主选择；所配电源为150W直流电源，可用于金属溅射镀膜。镀膜仪配有通气接口，可以通入保护性气体，若客户需要通入混合气体，可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。仪器标配先进的涡轮分子泵组，极限真空可达1.0E-5Pa，同时另有其他类型的分子泵可供选购。

详情介绍：

桌面型单靶磁控镀膜仪适用范围：

该设备可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等。该单靶磁控溅射镀膜仪与同类设备相比，经过小型化设计，高度集成，体积小巧，可以放置于桌面上使用，是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。

单靶磁控溅射镀膜仪技术参数：

往复样品台

尺寸

50*100mm

往复速度

0~50mm/s

磁控靶枪

靶材平面

圆形平面靶

溅射真空

10Pa～0.2Pa

靶材直径

2 英寸

靶材厚度

建议2～5mm

靶头温度

≦65℃

真空腔体

腔体尺寸

约为Φ180mm × H 215mm

腔体材料

高纯石英

观察窗口

全向透明

开启方式

顶盖拆卸式

电源

直流电源功率

*大150W

数量

1

分子泵系统

前级泵

旋片泵

VRD-4

抽速

1.1L/S

极限真空

5*10^-1Pa

分子泵

分子泵抽速

600L/S

额定转速

24000rpm

极限真空

5*10^-5Pa

振动值

≦0.1um

启动时间

≦4.5min

停机时间

<7min

冷却方式

水冷+风冷

水冷机

冷却水温度

≦37℃

冷却水流速

10L/min

供电电压

AC220V 50Hz

往复样品台	尺寸		50*100mm
	往复速度		0~50mm/s
磁控靶枪	靶材平面		圆形平面靶
	溅射真空		10Pa～0.2Pa
	靶材直径		2 英寸
	靶材厚度		建议2～5mm
	靶头温度		≦65℃
真空腔体	腔体尺寸		约为Φ180mm × H 215mm
	腔体材料		高纯石英
	观察窗口		全向透明
	开启方式		顶盖拆卸式
电源	直流电源功率		*大150W
	数量		1
分子泵系统	前级泵	旋片泵	VRD-4
		抽速	1.1L/S
		极限真空	5*10^-1Pa
	分子泵	分子泵抽速	600L/S
		额定转速	24000rpm
		极限真空	5*10^-5Pa
		振动值	≦0.1um
		启动时间	≦4.5min
		停机时间	<7min
		冷却方式	水冷+风冷
水冷机	冷却水温度		≦37℃
	冷却水流速		10L/min
供电电压			AC220V 50Hz

产品名称：往复样品台单靶磁控镀膜仪