产品名称：台式紧凑型三靶磁控溅射镀膜仪

输入功率
 

·单相110V AC,50/60Hz

·1000W（含真空泵和冷水机）

磁控溅射靶
 

·包括三个带水冷夹套的 2" 磁控溅射头，通过快速夹具插入石英室

·射频电缆更换可在CYKY购买

·法兰上内置一个手动百叶窗

·包括一台10L/min数控循环冷水机，用于冷却溅射头

溅射靶材

·靶材尺寸要求：2" 直径 x 1/8" *大厚度

·溅射距离范围：50-80mm可调

·溅射角度范围：0-25°可调

·2"直径Cu靶和Al2O3靶包括用于演示测试

·可根据要求提供各种氧化物 2" 溅射靶材，但需额外付费

·对于目标键合，包括 1 mm 和 2 mm 铜背板。

真空腔体

·真空腔体：300 毫米外径 x 500 毫米高，由不锈钢制成

·密封法兰：直径274毫米。由铝制成，带有高温硅胶O型圈

·包括不锈钢屏蔽笼，100% 屏蔽来自腔室的射频辐射

·*大真空度：1.0E-5 Torr，可选配涡轮泵和腔体烘烤

样品台

·样品台是一个可旋转的加热台，由陶瓷加热器制成，带有不锈钢盖

·样品台尺寸：直径50毫米，适合*大 2" 晶圆

·转速：1-10转可调，涂层均匀

·支架温度可从室温调节至*高 600 °C（600 °C 时*高 5 分钟；500 °C 时*高 2 小时），通过数字温度控制器精度为 +/- 1.0 °C

真空泵 

·内置KF40真空接口，用于连接真空泵。

·真空度：1.0E-2 Torr 含双级机械泵

1.0E-3 Torr 带可选涡轮泵

整机尺寸

540 mm L x 540 mm W x 1000 mm H

包装重量

大约 145 kg

保修单

一年有限保修，终身支持

是否支持定制

是