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  • 产品名称:大功率直流磁控溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY-HM
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
大功率直流磁控溅射镀膜仪是一款高功率台式磁控等离子溅射镀膜机 ,带有一个水冷2英寸靶头,冷水机和可旋转样品架。大功率直流磁控溅射镀膜仪设计用于涂覆直径达4英寸的所有金属薄膜, 包括Zn、Al、Ti和碳光膜,价格合理。包含一个Al 目标以供立即使用。
详情介绍:

大功率直流磁控溅射镀膜仪产品内容:

大功率直流磁控溅射镀膜仪包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形,甚至损坏样品;样品台可旋转,可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。

大功率直流磁控溅射镀膜仪技术规格:

输入电压

220 C 50/60Hz ,使用1000 W变压器(15 A保险丝)可获得110 V电源 

输出功率

  • 1600 VDC
  • 250 W
  • 150 mA max.
  • 内置过流保护(>150 mA)

样本室

  • 石英玻璃管, 165 mm外径×150 mm内径×250 mm高度

溅射头和样品台

  • 包括2"带水冷套的柔性磁控溅射头。
  • 一个直径50 mm的不锈钢样品台可在0-5 RPM范围内旋转。
  • 一个手动操作的遮板用于保护靶。
  • 溅射头支架可用于在非操作时保持溅射头。
  • 溅射头和样品台之间的距离可在60-100mm之间调节。
  • Max涂层面积: 4"直径max. 
  • 一个 空气冷循环冷水机组10 L / min流量,包括冷却溅射头。

控制面板

  • 6“彩色触摸屏控制面板,PLC集成,操作简便
  • 所有参数监视和控制的一个面板:真空,电流。

极限真空压力

  • 内置KF25真空端口
  • 该系统需要带有压力调节器的Ar气罐。(不包含)
  • 用于AuAgPtCuMo靶的Vane真空泵(不包括) <1.0E-2 Torr (对空气不敏感)
  • 涡轮分子泵(不包括) <1.0E-5 Torr   用于AlMgLiLrTiZn靶(对空气敏感)
  • 通过连续抽吸和烘烤,zui低真空可达到<4.0E-6

气氛

  • 安装一个针阀,允许Ar气体入口实现更好的等离子涂层
  • 该系统需要带有压力调节器的Ar气罐(不包括在内)

  • 包括一个2英寸铜靶用于测试,目标尺寸:2英寸直径×2.5mm
  • 它还可以涂覆AgAlCrNiPtTiSnLiMg 等几乎所有种类的金属材料。  
  • 警告:本机可以涂覆铝,铬或镍靶 ,但在使用前请查看推荐涂层方法。
  • 请使用RF等离子体磁控溅射涂覆氧化铝

整体尺寸

L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm

净重

20 kg

售后服务

货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。

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