产品名称：大功率直流磁控溅射镀膜仪

大功率直流磁控溅射镀膜仪产品内容：

大功率直流磁控溅射镀膜仪包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形，甚至损坏样品；样品台可旋转，可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。

大功率直流磁控溅射镀膜仪技术规格：

输入电压	220 C 50/60Hz ,使用1000 W变压器（15 A保险丝）可获得110 V电源
输出功率	1600 VDC 250 W 150 mA max. 内置过流保护(>150 mA)
样本室	石英玻璃管, 165 mm外径×150 mm内径×250 mm高度
溅射头和样品台	包括2"带水冷套的柔性磁控溅射头。 一个直径50 mm的不锈钢样品台可在0-5 RPM范围内旋转。 一个手动操作的遮板用于保护靶。 溅射头支架可用于在非操作时保持溅射头。 溅射头和样品台之间的距离可在60-100mm之间调节。 Max涂层面积: 4"直径max.  一个 空气冷循环冷水机组10 L / min流量，包括冷却溅射头。
控制面板	6“彩色触摸屏控制面板，PLC集成，操作简便 所有参数监视和控制的一个面板：真空，电流。
极限真空压力	内置KF25真空端口 该系统需要带有压力调节器的Ar气罐。（不包含） 用于Au、Ag、Pt、Cu、Mo靶的Vane真空泵（不包括） <1.0E-2 Torr （对空气不敏感） 涡轮分子泵（不包括） <1.0E-5 Torr   用于Al、Mg、Li、Lr、Ti、Zn靶（对空气敏感） 通过连续抽吸和烘烤，zui低真空可达到<4.0E-6托
气氛	安装一个针阀，允许Ar气体入口实现更好的等离子涂层 该系统需要带有压力调节器的Ar气罐（不包括在内）
靶	包括一个2英寸铜靶用于测试，目标尺寸：2英寸直径×2.5mm。 它还可以涂覆Ag，Al，Cr，Ni，Pt，Ti，Sn，Li，Mg 等几乎所有种类的金属材料。   警告：本机可以涂覆铝，铬或镍靶 ，但在使用前请查看推荐涂层方法。 请使用RF等离子体磁控溅射涂覆氧化铝
整体尺寸	L 440 mm×W 330 mm × H 290 mm
净重	20 kg
售后服务	货物发出后，CYKY提供一年免费售后服务，服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务，客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。

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