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单靶磁控光纤绕丝溅射镀膜仪，专用于光纤制备薄膜,采用不锈钢高真空腔体，配有带挡板的观察窗，可以观察镀膜过程，挡板则能有效防止观察窗被膜层遮蔽，便于实验的观察记录。腔体上顶开式设计开启方便，易于清理，十分适合实验室使用。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手.
光纤镀膜仪技术参数:
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绕丝机构 |
尺寸 |
Φ15mmx245mm |
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绕丝速度 |
1-300r/min |
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磁控溅射头 |
数量 |
2 英寸x1 |
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冷却方式 |
水冷 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
Φ213mm X 307mm |
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观察窗口 |
φ80mm |
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开启方式 |
上顶开式、左侧开式 |
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腔体材料 |
不锈钢 304 |
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电源配置 |
直流电源数量 |
1 台 |
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输出功率 |
≤300W |
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匹配方式 |
自动匹配 |
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水冷系统 |
水箱容积 |
9L |
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流量 |
10L/min |
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供气系统 |
类型 |
手动微量调节阀 |
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真空系统 |
前级泵 |
双极旋片泵 |
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抽速 |
1.1L/s |
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次级泵 |
涡轮分子泵 |
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抽速 |
60L/s |
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抽气口 |
ISO63 |
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出气口 |
KF16 |
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真空计 |
复合真空计 |
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供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机功率 |
2kw |
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