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  • 产品名称：人造钇铝榴石真空长晶炉

  • 产品型号：CY-P-GF900
  • 产品厂商：成越科仪
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简单介绍：
真空长晶炉是在真空或可控保护气氛环境下，通过精准控温、温度梯度调控，使原料熔融 / 升华后定向凝固生长高质量单晶的专用高温设备
详情介绍：
真空长晶炉是在真空或可控保护气氛环境下，通过精准控温、温度梯度调控，使原料熔融/升华后定向凝固生长高质量单晶的专用高温设备。炉体密闭，可抽真空并充入惰性保护气体，抑制原料氧化、挥发，消除杂质干扰，满足各类单晶生长严苛的温场要求，广泛用于半导体、光学、激光、闪烁晶体等单晶材料研发与量产。
一、应用领域
1.第三代半导体：SiC、AlN单晶衬底
2.光电子材料：蓝宝石、铌酸锂、钽酸锂
3.激光与闪烁晶体：YAG、Nd:YAG、LYSO、YSO
4.红外探测晶体：ZnSe、ZnS、CdTe
5.半导体硅、锗单晶，CVD金刚石等功能单晶
二、技术参数：

名称

设备参数

指标值

设备规格

外形尺寸(长x宽x高)

3350x280x3750mm

水冷系统

水压

0.3~0.5MPa

流量

80L/min

气路系统

气压

0.4~0.6MPa,

炉膛系统

开门方式

罐体式前开门

内腔尺寸

Φ900mmxH1200mm

门开口尺寸

530mmx1200mm

极限真空

8E-4Pa

整体漏率

≤5Pa/12h

加热系统

加热方式

感应加热

电源额定功率

60kw

双速提拉系统

系统分辨率

0.001mm

称重精度

0.01g

丝杆

有效行程

600mm

拉速

快速范围

0~2500mm/h

慢速范围

0.1~5mm/h

转晶模组

设计速度

150rpm Max

生长时转速

30rpm Max

适用产品

红宝石、蓝宝石、人造钇铝榴石（YAG）.人造钆镓榴石（GGG）、金绿宝石、变石和尖晶石等人工晶体


豫公网安备 41019702002438号