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产品详情
简单介绍：
400提拉炉是一种基于CZ法原理设计的自动化晶体生长设备。其核心功能是通过jing确控制温度场、提拉速度、旋转速度及真空环境，将多晶原料熔化并拉制成高质量的单晶棒
详情介绍：
400提拉炉是一种基于CZ法原理设计的自动化晶体生长设备。其核心功能是通过jing确控制温度场、提拉速度、旋转速度及真空环境，将多晶原料熔化并拉制成高质量的单晶棒。数字“400”主要代表其炉膛内径为400mm，属于中大尺寸规格，适用于较大尺寸晶锭或批量生产需求。
1、整机集成了炉膛系统、提拉系统、加热系统、真空获得系统，水路循环、电气控制等模块。
1、整机集成了炉膛系统、提拉系统、加热系统、真空获得系统，水路循环、电气控制等模块。
2、各功能模块独立运行，通过高性能实时监测系统，实时完成数据的采集、处理和反馈工作，同时对各单元进行协调控制，确保生产流程能够稳定高效完成。
技术参数：
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名称 |
设备参数 |
指标值 |
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设备规格 |
长x宽x高 |
830x1100x2600mm |
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炉体系统 |
极限真空(空炉冷态) |
<lPa |
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腔室尺寸 |
Ф400mmxH750mm |
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压升率(空炉冷态) |
≤0.67 Pa/h |
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充气zui大压力 |
150KPa |
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提拉旋转系统 |
拉速范围 |
0.01~30000mm/h |
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旋转范围 |
-20~20rpm |
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系统分辨率 |
0. 001mm |
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升降行程 |
400mm |
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加热系统 |
加热方式 |
感应加热 |
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加热电源 |
25KW, 4KHz |
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加re线圈 |
双层线圈，内Ф160mm，H125mm |
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温控系统 |
监测方式 |
温控仪 |
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控温精度 |
士0.1°C |
