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1、紧凑立体化的设计，方便布局，大幅提高厂房利用率；
2、优良的机构和电气交互设计，让设备的操作和维护更加an全，简便；
3、采用单线圈感应加热方式，夹层式水冷散热系统，实现热场的稳定和坩埚受热更均匀；
4、全自动自主研发控制系统，实现整个长晶过程中全自动温度和炉内压力高精度控制；
5、数据库完整记录整个长晶过程，提供设备生命周期内所有数据的查询，方便客户自主分析。
技术参数：
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名称 |
设备参数 |
指标值 |
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设备规格 |
长x宽x高 |
2000mmx1800mmx2900mm |
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炉体系统 |
极限真空（空炉冷态） |
＜1Pa |
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腔室尺寸 |
内径450mm*H1116mm |
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腔体氦检漏率 |
≤1E-09 Pa.m³/s |
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腔体压升率 |
≤5Pa/12h |
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上盖升降系统 |
升降速度 |
1-500mm/min |
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升降行程 |
500mm |
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加热系统 |
中频电源功率 |
40KW |
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线圈升降行程 |
210mm |
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线圈升降速度 |
0.05-5000mm/h |
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控温系统 |
温度监测方式 |
红外测温仪 |
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监测范围 |
800-2800℃ |
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恒温控温精度 |
±0.1℃ |
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下盖升降系统 |
升降速度 |
1-900mm/min |
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升降行程 |
1200mm |
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气路系统 |
H2 |
10sccm |
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N2 |
100sccm |
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Ar |
100sccm |
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Ar（快充） |
10slm |
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控压系统 |
控压范围 |
1-800mbar |
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控压精度 |
±0.1mbar |
