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技术规格：
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桌面型单靶磁控镀膜仪 |
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样品台 |
尺寸 |
φ100mm |
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加热 |
*高500℃ |
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转速 |
0-20可调 |
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磁控溅射靶 |
数量 |
2” x1 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ180mm X 215mm |
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观察窗口 |
全向透明 |
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腔体材料 |
高纯石英 |
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开启方式 |
上盖拆卸式 |
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真空系统 |
机械泵 |
旋片泵 |
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分子泵 |
涡轮分子泵 |
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真空测量 |
电阻规+电离规 |
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抽气接口 |
KF16 |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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极限真空 |
1.0E-4Pa |
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供电电源 |
AC 220V 50/60Hz |
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抽气速率 |
机械泵1.1L/s 分子泵600L/s |
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电源配置 |
数量 |
直流电源 x1 |
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*大输出功率 |
直流电源300W |
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其他 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机功率 |
2kW |
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整机尺寸 |
550mm X 350mm X400mm |
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