产品详情
  • 产品名称:磁控溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY-1100X-SPC16M
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
此款磁控溅射镀膜仪是依据二级(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。这款磁控溅射镀膜仪结构紧凑,体型小巧,适合实验室采购。
详情介绍:

CY-1100X-SPC16M磁控溅射镀膜仪的特点

1:设有真空表、溅射电流表,可实时监控设备工作状态。

2:可通过调节溅射电流控制器和微型真空阀来控制真空室压强、电离电流,以获得**镀膜效果。

3:真空室石英腔体边缘的橡胶密封圈采用了特殊设计,得以保证真空室长期使用且不出现崩边现象。

4:用更加经久耐用的陶瓷橡胶密封圈取代了通常用的橡胶密封。

5:采用了大容量溅射真空室和相应面积的溅射靶,是溅镀出的膜层更加均匀纯净。

6:溅射头采用了特殊的制冷技术,可以得到高性能、精细颗粒的图层。   

7:可用水冷溅射头、水冷载物台。

技术参数

产品型号

CY-1100X-SPC16M

电源

220V 50Hz

靶材直径

50mm

样品台直径

50mm

真空室尺寸

Φ50mm

较高真空度

4×10-2torr

较大电流

50mA

可设定最长时间

9999s

微型真空气阀

连接φ3mm软管

较高电压

1600V DC

机械泵流量

2L/s

产品尺寸

360×300×380

标准配件

金靶材1个,进气针阀1个,保险丝2

可选配件

AuInAgPt等各种靶材

包装

三合板木质包装

豫公网安备 41019702002438号