产品名称：磁控溅射镀膜仪

CY-1100X-SPC16M磁控溅射镀膜仪的特点

1：设有真空表、溅射电流表，可实时监控设备工作状态。

2：可通过调节溅射电流控制器和微型真空阀来控制真空室压强、电离电流，以获得*佳镀膜效果。

3：真空室石英腔体边缘的橡胶密封圈采用了特殊设计，得以保证真空室长期使用且不出现崩边现象。

4：用更加经久耐用的陶瓷橡胶密封圈取代了通常用的橡胶密封。

5：采用了大容量溅射真空室和相应面积的溅射靶，是溅镀出的膜层更加均匀纯净。

6：溅射头采用了特殊的制冷技术，可以得到高性能、精细颗粒的图层。   

7：可用水冷溅射头、水冷载物台。

技术参数

产品型号	CY-1100X-SPC16M
电源	220V 50Hz
靶材直径	50mm
样品台直径	50mm
真空室尺寸	Φ50mm
*高真空度	4×10-2torr
*大电流	50mA
可设定*长时间	9999s
微型真空气阀	连接φ3mm软管
*高电压	1600V DC
机械泵流量	2L/s
产品尺寸	360×300×380
标准配件	金靶材1个，进气针阀1个，保险丝2个
可选配件	Au、In、Ag、Pt等各种靶材
包装	三合板木质包装