产品名称：紧凑型直流磁控溅射镀膜仪

紧凑型直流磁控溅射镀膜仪应用领域：

紧凑型直流磁控溅射镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜，制膜面积可达到4英寸。设备外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。

紧凑型直流磁控溅射镀膜仪技术规格：

特点	1.专为SEM样品涂覆导电金膜而设计。 2.紧凑型等离子溅射镀膜机专为金属涂层而设计，如金，铂和银。 3.包括一个2“金（4N）目标。
输入电压	220 VAC 50/60Hz, 200W < 1000 W (包括真空泵功率) 使用1000 W变压器(15 A保险丝)可获得110VAC电源。
输出电压	500 VDC
溅射电流	0 - 50 mA (max)可调节的溅射电流 数字电流表(mA) 过流保护
溅射时间	1 -120秒可调
样本室	石英玻璃管, 165 mm外径×150 mm内径×150 mm高
样品台	2"直径,高度可调, 从样品到靶30 - 80 mm
溅射头	2"磁控溅射头。一个手动操作的遮板用于保护靶
真空压力	数字真空压力表(Pa) KF25真空泵连接器 机械泵的极限真空压力为1，泵不包括在内。
输入气体	安装一个1/4世伟洛克型管接头，用于连接惰性气瓶。 前面板上有一个计量阀，用于调节输入气体。
靶材	包括一个直径50mm×0.12mm的金靶 4N纯度金箔: 50 mm(2英寸)直径x 0.12 mm (包含并预装在镀膜仪上)   可选靶材 金靶 (50 mm 直径×0.12 mm, 4N 纯度)  铂金靶(50 mm直径×0.12 mm, 4N纯度)   银靶(50 mm 直径×0.5 mm, 4N 纯度)  该型号适用于涂覆金，银，铂。并且由于能量低，不适合涂覆轻金属材料，如Al、Mg、Zn或碳靶。请考虑我们的高功率直流/射频磁控溅射涂布机或热蒸发涂布机。
产品尺寸和重量	L 460 mm×W 330 mm×H 520 mm 20kg
售后服务	货物发出后，CYKY提供一年免费售后服务，服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程技术支持。如需要派人现场服务，客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资

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