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  • R-PECVD​真空旋... R-PECVD真空旋转等离子增强CVD设备由旋转及倾斜机构、单温区管式炉、等离子发生机构、质量流量计供气系统、高真空分子...
  • 双温区CVD系统 双温区CVD系统由1200℃双温区管式炉、双通道质量流量计和低噪音双极旋片真空泵组成。双温区CVD系统管式炉的两个温区分...
  • 1500℃单温区3路质... 1500℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统由1500℃单温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密...
  • 1500℃单温区3路质... 1500℃单温区3路质量供气低真空CVD系统由1500℃单温区管式炉、三路质量流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控...
  • 1500℃单温区3路浮... 1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统由1500℃单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控...
  • 1500℃单温区3路浮... 1500℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统由1500℃单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控...
  • 1200℃三温区3路质... 1200℃三温区3路质量供气高真空CVD系统由三温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵组组成。管式炉三个温区分别由精密...
  • 1200℃三温区3路质... 1200℃三温区3路质量供气低真空CVD系统由三温区管式炉、三路质量流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉三个温区分别由精密...
  • 1200℃双温区3路质... 1200℃双温区3路质量供气高真空CVD系统由双温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵组组成。管式炉两个温区分别由精密...
  • 1200℃双温区3路质... 1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统由双温区管式炉、三路质量流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉两个温区分别由精密...
  • 1200℃双温区3路浮... 1200℃双温区3路浮子供气高真空CVD系统由双温区管式炉和三路浮子流量计组成。管式炉两个温区分别由精密控温仪表独立控温...
  • 1200℃双温区3路浮... 1200℃双温区3路浮子供气低真空CVD系统由双温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉两个温区分别由精密...
  • 1200℃三温区3路浮... 1200℃三温区3路浮子供气高真空CVD系统由三温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉三个温区分别由精密...
  • 1200℃三温区3路浮... 1200℃三温区3路浮子供气低真空CVD系统由三温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉三个温区分别由精密...
  • 1700℃两路浮子供气... 该管式炉可以用于抽真空和通气氛,所以又叫真空管式炉和气氛管式炉。炉管材质采用高纯氧化铝,*高可在1650℃的高温工作。为...
  • 1200℃三路供气低真... 1200℃三路供气低真空度旋转CVD系统采用高纯石英制作炉管。旋转装置为风冷法兰,摩擦传动,倾角(0-15°)任意可调。...
  • 1200℃单温区3路质... 1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统由单温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵租组成。管式炉由精密控温仪表进行...
  • 1200℃单温区3路质... 1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控温仪表进行...
  • 1200℃单温区3路浮... 1200℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控温仪表进行...
  • 1200℃单温区3路浮... 1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控温仪表进行...
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